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半导体 

 Danaher Motion image  
 

通用运动平台,高产量、高精度、高安全性,面向未来。


 
世界上最成功的半导体设备制造商都意识到与科尔摩根的合作将直接影响他们生产的机器在市场中的成败。结果,这些OEM制造商们都显著缩短了工具开发周期,提高了人员效率,改进系统性能进而提升了产量。
 

半导体行业的产品应用  

 

SynqNet® 控制系统

全数字运动控制网络解决方案可满足就性能、诊断能力、安全以及上市时间方面日益增长的苛刻要求。 了解更多 >  

   

  

Dover平台

全球领先的精密空气轴承系统,平台和直线执行器制造商和设计商。

 

  

S200无刷伺服驱动器系统和AKM伺服电机

用于经济型应用的高性能伺服系统。

   

直接驱动电机

源自科尔摩根的DDR电机配有预组态的控制器、驱动器和反馈装置,能够提供“一站式”解决方案。

 

Thomson执行器

机械和机电产品,具有较高的灵活性、精度、效率和可靠性。

 

案例研究:Asyst 技术

Asyst Spartan™ EFEM(设备前端模块)项目的目标是生产同类中最强劲、灵活的工具,包括通用晶片分类的双重功能。

 

主要客户要求  

  • Asyst公司的工程师们开发的Spartan EFEM设立了新的市场标准。
  • 极为紧凑的机器规格,EFEM仅为其它同类工具体积的一半。
  • 为全新的内部机器人设计定制驱动开发—高效双末端执行器直角坐标机械手,带对准器。
  • Asyst Spartan EFEM 符合ISO Class 1,更佳的微环境选项——利于产品选型
  • 远程机器诊断和高级调试工具
  • 先进的轨迹规划和运动编程工具
  • 运动软件和控制器必须具有TCP/IP功能,能适用于无尘室外的远程操作
  • 数字化网络,减少布线,设计灵活  

解决方案套件  

  • 采用MPI(C/C++ 库)的XMP-SynqNet控制器
  • BodeTool/MotionConsole - Motion Scope
  • 用于生产测试的MPX ActiveX编程
  • 定制的科尔摩根 SynqNet 驱动器  

Asyst是Asyst Technologies公司的注册商标。保留所有权利。

软件能力

科尔摩根软件功能集持续跟踪SynqNet控制技术的成长。 先进的功能套件包括:

  • 路径运动 为沿n维空间中的路径移动轴,XMP和ZMP SynqNet控制器支持各种路径运动算法,包括PVT、PT、样条曲线、框架运动和定制。 所支持的样条曲线包括Bezel样条曲线和B样条曲线。可选择不同的算法,来提供最佳的路径类型、控制等级以及整体应用要求。  

 

  • 避免碰撞 为防止轴之间的碰撞,SynqNet控制器可连续监控轴之间的相对距离。当距离低于规定的距离误差,控制器将生成一个错误事件,停止轴的运动。采用硬件实施,可避免基于主机监控所造成的延时。 

 

  • 快速轨迹修改 通过更新加速度、速度和/或位置,可随时根据需要进行运动轨迹修改。运动控制器的内置运动处理器能够自动实时重新计算轨迹。

 

  •  2D补偿表 空气轴承平台表面的机械公差会在平台测量位置和实际位置之间生成一个小的误差。为修正这些误差,MPI支持2D补偿表,在精密定位系统中的获得更高的精度。

 

  • 龙门架算法 科尔摩根采用精密的龙门架驱动算法,以修正系统中的纵轴联结,由两个电机控制一个直线(Y)轴。包含横(X)轴的系统同时支持偏航控制。龙门架功能可调整驱动需求,控制回转偏斜定位误差在1到3纳米之内。  

 

  • 增益排程 为了通过高速、精确的定位来实现优化的高速运动,可以根据位置,对控制器进行编程来更改增益。通过创建多个运动段(加速度,偏斜,减速度)的增益表来代替整个运动一个增益表的做法。

 

  • 被n除 为根据轴的实际位置触发一个外部设备,例如驱动照相机快门或脉冲激光器,SynqNet控制器可配装一个被n除发生器。通过被n除,控制器在第n次(用户定义)编码器变换后生成一个脉冲。被n除功能完全凭借硬件实现。